中国科学技术大学

张泽洪
单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
地址：江苏省苏州工业园区若水路398号
邮编：215123
电话：0512-62872725
个人主页：http://sourcedb.sinano.cas.cn/zw/zjrck/201109/t20110926_3354280.html

个人简历  Personalresume 
1999年清华大学本科毕业，2002年中国科学院半导体所硕士毕业，2005年美国UniversityofSouthCarolina大学博士毕业，并从事博士后工作。2006年任职美国硅谷应用材料公司AppliedMaterial,Inc，任资深关键客户技术师。2011年，加入中科院苏州纳米所，受聘为研究员（百人计划/青年****）、博士生导师。美国UniversityofSouthCarolina宽带隙半导体组是世界顶尖的研究SiC和GaN材料和器件的实验室。该实验室的SiC研究曾经得到经费支持累计约1800万美元。在该组攻读博士和博士后期间，主要从事SiC外延CVD设备的研制，工艺开发，位错分析及器件测试。在期刊和国际会议文集上发表第一作者论文十余篇，其中4篇发表在Appl.Phys.Lett.上。应用材料公司是全球最大的半导体设备和太阳能设备提供商。在应用材料任职期间，曽为多名关键客户，包括德国原AMD,新加坡特许半导体，IBM,台湾南亚，华亚，华邦，力晶、瑞晶，奇梦达，美光，台积电等提供大规模集成电路制造用设备和工艺技术。曾经负责过的设备产品包括MOCVD,CVD,PVD,ALD,PEALD,Preclean等。

研究方向  Researchdirection 
1、半导体材料与器件物理